為了保證SF6氣體的絕緣特性，降低SF6氣體分解物所產(chǎn)生的酸性副產(chǎn)品物質(zhì)的形成，須將高壓電氣設(shè)備氣室中的水氣含量保持在盡可能低的水平。雖然注入的是干燥的SF6氣體并做到了高壓下的密封，沒有外界新氣流入，但由于氣室內(nèi)外存在較大差距的水氣分壓，水分子還是有很強的侵入能力，特別是長期運行后的高壓電氣設(shè)備更應(yīng)注意氣體濕度。
傳統(tǒng)的濕度檢測是周期性抽取氣體樣氣，但近年來結(jié)合了SF6露點在線測量的狀態(tài)監(jiān)測系統(tǒng)逐漸興起。然而這類在線測量應(yīng)用遇到了很大的挑戰(zhàn)，它完全不同于工業(yè)領(lǐng)域的一般露點測量，也不同于SF6絕緣設(shè)備上的壓力、溫度測量。它的特殊之處在于露點變送器的安裝方式、測量系統(tǒng)中材質(zhì)的選取以及接頭種類都將決定是否為設(shè)備維護和管理者真實提供了想要得到的且有價值的測量數(shù)據(jù)。此外，如果地處偏遠地區(qū)，高壓電氣設(shè)備的狀態(tài)監(jiān)測系統(tǒng)更需要高可靠性的表，更長的維護周期。
水氣壓和露點：
自然界水氣無處不在，水氣壓是總氣壓的一部分。例如空氣的總壓力就是大氣壓，而氣體絕緣設(shè)備(GIE)的總壓力就是系統(tǒng)壓力。
露點或者霜點(Ta)的定義是某種氣體中的水氣分壓(p)等于它的飽和水氣分壓(p)所對應(yīng)的溫度，換句話說，露點/霜點就是某種氣體被冷卻后，其中的水氣冷凝成露水或霜1時的度。
人們通常將霜點(＜0℃)用“露點”這個術(shù)語替代。但是很重要的一點是須知道某種傳感器測量的是什么參數(shù)，這在不同原理的測量儀表之間的比較時尤其重要。
露點不是一個與溫度相關(guān)聯(lián)的參數(shù)，因此可以通過測量另一溫度下的樣氣得出。但露點卻與壓力有很強的相關(guān)性，因此很關(guān)鍵的一點是確保測量點的壓力與主氣流(即系統(tǒng))的壓力一致，或者知道測量點的準確壓力以便進行不同壓下的露點換算。例如，將4bar下的露點換算成常壓露點。
水氣擴散：
水分子在氣相中不是束縛在一起，由于體積很小它們可以自由地移動。水蒸汽在不同狀態(tài)間總是趨于達到某種平衡，即水分子總是由高壓向低壓遷移，甚至會從系統(tǒng)中高分子材料密封圈或者沿著接頭的金屬表面滲透。這種特性也會發(fā)生在環(huán)境總壓力較低而系統(tǒng)壓力較高之間，例如大氣空氣環(huán)境與SF6高壓電氣設(shè)備間。因此不但要考慮壓力密封而且還要做到水氣密封。這種擴散效應(yīng)非常緩慢，對于大容量氣體可以忽略不計。但是對于在線監(jiān)測系統(tǒng)中測量單元內(nèi)小體積的靜止氣體而言就是很顯著的，特別是這種擴散發(fā)生在傳感器周圍。
水分遷移：
一個氣體密封的系統(tǒng)中的水蒸汽壓力和露點不是一成不變的，即便假設(shè)周圍空氣中水分子沒有向系統(tǒng)中擴散。密閉系統(tǒng)中溫度的變化造成了水分(水蒸氣)在兩種狀態(tài)間遷移，即氣態(tài)中水分與接觸氣體的固態(tài)物質(zhì)中水分之間遷移。當溫度上升，系統(tǒng)中不同部位的溫度差異會引起固體中的水分向氣體中遷移，這是因為固氣兩個狀態(tài)中的水分要趨向平衡，即平衡相對濕度一致。而溫度下降水分遷移則是一個相反過程。氣體絕緣設(shè)備(GIE)系統(tǒng)中的水分來源主要是金屬和有機物質(zhì)表面的空隙，如墊片和密封劑2，3等，與氣體接觸的固體物質(zhì)的表面積越大，表示水分遷移效果的露點值也越大。
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